연구업적
논문 (최근 3년간의 실적)
| 년도 | 제목 |
|---|---|
| 2026-06-30 | 반도체 제조시설 가스소화 패키지 시스템의 오방출 리스크 분석 및 공정 영향 평가 |
| 2026-06-30 | 반도체 제조환경에서 불꽃감지기 비화재보의 발생 메커니즘 분석 및 정량적 신뢰도 평가 |
| 2026-06-30 | 반도체 공정용 고감도 SiF4 검출을 위한 Co-WO3 나노섬유 가스 센서 연구 |
| 2026-06-01 | 반도체 제조 공정용 가스 감지기 기술 동향 |
| 2026-06-01 | 반도체 특수 가스 배관 클리닝을 위한 이동형 중성화 키트(Kit) 개발 |
| 2026-03-25 | 반도체 장비용 EFU ULPA 필터 구성 소재의 이온·금속· 유기 아웃가싱 특성 평가 및 수분 흡착 조건의 영향 분석 |
| 2026-03-25 | EFU BLDC 팬의 RPM별 3축 진동 특성 분석 및 인입 상대습도에 따른 웨이퍼 수분 공급량 상관관계 연구 |
| 2026-03-01 | 반도체 벤트 시스템 중성화를 위한 실리콘계 전구체의 흡착 및 탈착 거동에 관한 실험적 연구 |
| 2026-02-01 | A Computational Method for Screening Low-GWP Fluorinated Gases in Semiconductor Manufacturing |
| 2025-03-01 | Hydrophilic surface modification of microporous poly(tetrafluoroethylene) membranes through defluorination and sulfonation |
연구수탁 (최근 3년간의 실적)
| 년도 | 제목 |
|---|---|
| 2026-03-01 | [RCMS][2단계2-1]차세대반도체소재부품장비후공정 전문인력양성(5-3) |
| 2026-01-01 | [RCMS][1단계4-4]디스플레이 TFT 보호막 성막을 위한 기상증착공정용 GWP 150 이하의 대체가스 및 공정 기술 개발(8-4) |
| 2025-03-01 | [RCMS][1단계2-2]차세대반도체소재부품장비후공정 전문인력양성(5-2) |
| 2025-01-01 | [RCMS][4-4]저 GWP 가스용 원격플라즈마 가스분해 공급 장치에 적용 가능한 GWP 1,000이하 증착 챔버 세정 가스 및 성능 고도화 기술 개발 |
| 2025-01-01 | [RCMS][1단계4-3]디스플레이 TFT 보호막 성막을 위한 기상증착공정용 GWP 150 이하의 대체가스 및 공정 기술 개발(8-3차년도) |
| 2024-03-01 | [RCMS]반도체특성화대학지원사업(4-2차년도) |
| 2024-03-01 | [RCMS]차세대반도체소재부품장비후공정 전문인력양성(5-1차년도) |
| 2024-03-01 | [RCMS]산학협력 프로젝트 기반 반도체소부장 실무인재양성(3-3차년도) |
| 2024-01-01 | [RCMS]저 GWP 가스용 원격플라즈마 가스분해 공급 장치에 적용 가능한 GWP 1,000이하 증착 챔버 세정 가스 및 성능 고도화 기술 개발(4-3차년도) |
| 2024-01-01 | [RCMS]디스플레이 TFT 보호막 성막을 위한 기상증착공정용 GWP 150 이하의 대체가스 및 공정 기술 개발(8-2차년도) |
지적재산권 (최근 3년간의 실적)
| 년도 | 제목 |
|---|---|
| 2026-02-11 | 비활성 퍼지가스를 이용한 관 내 반도체 전구체 흡착물의 제어방법 |