강의계획서
| 교과목코드 | KME02138 | 교과목명 | 반도체화학 |
|---|---|---|---|
| 강의학과 | 대학 | 교수 | 윤주병 |
| 교수소속 | 반도체공학부 | 이수학년 | 1학년 |
| 과목구분 | 이론 | 과정구분 | |
| 이메일 | yjb5841@mju.ac.kr | 전화번호 |
| 주차 | 주제 |
|---|---|
| 1주차 | 과목소개 화학의기초 (1장) |
| 2주차 | 원자, 분자와 이온 (2장) (플라즈마) |
| 3주차 | 원자 구조와 주기성 (7장) (양자역학) |
| 4주차 | 결합 일반개념, 공유결합과 오비탈 (8, 9장) (밴드)1 |
| 5주차 | 분자분광학 및 분광학적 분석 (부록3, 7) |
| 6주차 | 기체, 액체와 고체, 용액의 특성 (10,11장) (Wafer, 금속, 산화환원) |
| 7주차 | 중간고사; 리뷰 |
| 8주차 | 화학반응의 종류와 용액의 화학량론 (3, 4장) (반도체 화학반응-액상, 식각과 세정) |
| 9주차 | 화학반응속도론 및 화학평형 (5, 12, 13장)(반도체 화학반응-기상, 고상, 증착) |
| 10주차 | 산염기 및 산염기 평형 (14, 15장) (반도체와 산염기) |
| 11주차 | 용해도와 착이온 형성 (16, 21장) (도금) |
| 12주차 | 열화학, 화학반응 자발성, 엔트로피와 자유에너지 (6, 17장) |
| 13주차 | 주족원소 (20장) (반도체에 쓰이는 원소들) |
| 14주차 | 반도체 8대 공정의 화학적 이해 (CVD, 식각, 포토, 확산, CMP, IIP, 배선) (별도자료) |
| 15주차 | 기말고사; 리뷰 |
| 16주차 |